滚针电动缸

滚针电动缸实现刚性1µm

采用高精度的宽幅滚针,刚性比原来的滚珠类型提高了10倍以上 。

接触面积的比较

滚针电动缸接触面积大 ,刚性高

侧压刚性弯曲比较

滚针导柱采用事例

滚针导柱 ,由于其高刚性在下面这些地方也被广泛使用。

电机定子铁芯的冲切模具

TAB胶带冲切模具

精密电动缸的送给精度 1µm

使用高精度的宽幅型的滚针、保持刚性的同时成功实现了低负荷。 因此滚动阻力被抑制到极限 ,达到了1µm进给精度 。

利用这个高进给精度 、在曝光机的镜头・镜片・平台的高精度定位上面 精密电动缸被广泛使用。

滚针式的优点

滚珠循环式的场合

滚珠之间相互接触、碰撞而产生的摩擦,造成磨损、脏污、发热等。另外,循环时负荷的加压、减压反复发生 ,非常容易造成振动。

滚针导柱(滚针)的场合

滚针之间相互不接触 ,不会发生转动体的接触、碰撞、摩擦 。另外,因为是非循环、低负荷,不会造成加压时冲击、振动也减少 。能够实现顺畅、微小的送给 。

超低振动支撑着高进给精度

和滚珠类型相比,滚针导柱到达1/20以下的低振动!

响应速度支撑着1µm的进给精度

将滚动阻力控制到极限、把0.1µm为1単位 的微小进给量变成可能 ,实现了卓越的响应速度。

滚动电动缸的直线性 1µm

实现了高刚性、低振动的滚针导柱具有良好直线性、特别是重复定位精度比原来提高 3倍以上 。利用这个特性、应用于微细的PCB基板开孔、半导体的组装等, 在精密半导体领域被广泛使用。

X Y轴方向 重复定位精度比较

振动大、刚性低的滚珠导柱的话,位置精度偏差大 不稳定、 精密电动缸的话,振动小并且到达很好的重复定位精度 !

X Y Z轴全方向 重复定位精度比较

高精度滚针导柱和滚珠丝杠的配套组合, 精密电动缸的重复定位精度实现了 X Y Z全方向±1.0um!

采用滚针电动缸的优点

1. 超高精度化

成功实现了以前不可能达到的1.um单位高精度定位,提高了产品精度!

2. 节省空间

简易构造,节省空间 !

3. 减少工时

一体化构造 ,缩短客户设计时间 !安装简单 ,缩短组装时间 !

  • 本体外侧上装备有自动开关 。调整开关调整很容易 ,节省空间 。
  • 有带电机和不带电机两种类型 。客户可指定电机 。
    →结合客户的控制样式、要求等,也可代为选定电机。

用途

  • 分段曝光机等各种光学仪器的镜头・镜片移动、微小的角度调整
  • 定位台的X·Y·θ軸的调整
  • 相机·感应器的位置调整
  • 显微镜・望远镜的镜头·镜片调整
  • 平台(X・Y・Z)的定位
  • 半导体・液晶制造装置
  • 各种自动机・实验装置 等

滚针电动缸标准的订单型号

外形尺寸图

GMA2815 □

GMA4220 □

GMA6025 □

带有标准电机的电缆方向

M(电缆标准方向)

ML(电缆L方向)

MR(电缆R方向)

*上面都是从电动缸顶端观察,以水平安装面为下基准的图。

不带电机式样 电机类型选择

GMA2815 □ モータータイプ

選択 L
A 20
B 15

GMA4220 □ モータータイプ

選択
A φ5
B φ6

GMA6025 □ モータータイプ

選択 d D P
A φ6.35 φ38.1 47.14
B φ10 φ36 50

购买不带电机的情况下,请确认自行购买的电机尺寸是否能够配合上面图的尺寸形状 。 想要安装除此尺寸以外的电机类型的情况下,请先联系弊公司 。

正式产品/标准式样 滚针电动缸(GMA系列)式样

名称 ミリオンアクチュエータ
型号 GMA2815N GMA4220N GMA6025N
安装角 28×28mm 42×42mm 60×60mm
有效行程 15mm 20mm 25mm
轴方向推力(*1) 定额 50N 150N 300N
瞬时最大 100N 250N 500N
送给进度(*1) 定额 10mm/sec
(モーター600min -1 時)
15mm/sec
(モーター450min -1 時)
20mm/sec
(モーター400min -1 時)
瞬时最大 50mm/sec
(モーター3000min -1 時)
100mm/sec
(モーター3000min -1 時)
100mm/sec
(モーター2000min -1 時)
送给丝杠 精密研磨滚珠丝杠
丝杠导线 1mm 2mm 3mm
重复定位精度 ±1.0µm
空转 3.0µm
分辨率 0.2µm/pls
搭载标准电机 (株)三明 步进电机 Si servo (附带编码器)
TS3641N61S02 TS3617N370S04 TS3653N324S04
电源电压 DC24V±10%
感应器 无接点自动开关 附带2个 (SMC(株)生产 D-M9N)
重量 約0.4kg 約1.3kg 約3.7kg
使用温度范围 0~50°C
  • (*1)请不要长时在最大推力或最大速度下使用 。可能会造成滚珠丝杠的寿命显著下降,最大推力或最大速度请在瞬时使用 。
  • 上面数据是带有标准电机时的数据。
  • 重量中包含标准电机的重量 。
  • 上面重复定位精度数据要求丝杠的温度是固定的 。(不考虑周围・丝杠温度变化带来的影响)

步进电机

带有标准电机的机种,搭载的是(株)三明公司生产的步进电机伺服系统「Si servo」 的电机。

驱动器(型号:Si-02DE、全尺寸通用)和电缆等不包括在内,请另行购买。

弊公司也可代为准备驱动器和电缆等,需要的话请先联系 。

除此以外的电机类型也可代为准备,需要的话请先联系。